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单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备

  • 简单描述:应用范围:灵活的OEM设备,用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶硅到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。
    在线面扫和单点检测MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
    样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从
  • 更新时间:2021-04-14
  • 产品型号:MDPlinescan
详细介绍

各种不同的样品,从单晶硅到多晶硅,从生长的晶片到加工过的晶片,都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。硬件系统被灵活地安装来执行样本的逐行扫描。该软件接口便于与处理系统或自动化系统进行简单的连接和通信。

 

MDPlinescan被设计成一个易于集成的OEM单元,用于集成到各种自动化检测上。关键测量是少子寿命扫描。样品通常由测量探头下面的传送带或机器人系统传送。应用实例范围从砖块到晶片检查,测量速度小于每晶片一秒。电池生产线的进料质量调查是常见的应用案例,以及在钝化和扩散之后的工艺质量检查,在许多其他的专业应用领域也有很大的可能性。只需要集成以太网连接和电源就可以了。包括附加电阻率测量选项。


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