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MDPinline ingot在线硅锭成像设备介绍:
各种不同的样品,从单晶硅到多晶硅,从生长的晶片到加工过的晶片,都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。硬件系统被灵活地安装来执行样本的逐行扫描。该软件接口便于与处理系统或自动化系统进行简单的连接和通信。
MDPlinescan被设计成一个易于集成的OEM单元,用于集成到各种自动化检测上。关键测量是少子寿命扫描。样品通常由测量探头下面的传送带或机器人系统传送。应用实例范围从砖块到晶片检查,测量速度小于每晶片一秒。电池生产线的进料质量调查是常见的应用案例,以及在钝化和扩散之后的工艺质量检查,在许多其他的专业应用领域也有很大的可能性。只需要集成以太网连接和电源就可以了。包括附加电阻率测量选项。