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Bruker白光干涉仪使用后要做哪些维护工作呢?

浏览次数:231发布日期:2021-12-10
  Bruker白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
  Bruker白光干涉仪的维护:
  1、使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。
  2、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。
  3、经过精密调整的仪器部件上的螺丝,都涂有红漆,不要擅自转动。
  4、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。
  5、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动 时,应托住底座,以防导轨变形。
  6、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精混合液轻拭。
  Bruker白光干涉仪基本原理:
  是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
  Bruker白光干涉仪的特点:
  1、非接触式测量:避免物件受损。
  2、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
  3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
  4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
  5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
  6、扫描仪:闭环控制系统。
  7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
  8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
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