Bruker白光干涉仪使用后要做哪些维护工作呢？

　　Bruker白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

　　Bruker白光干涉仪的维护：

　　1、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。

　　2、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。

　　3、经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。

　　4、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。

　　5、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。

　　6、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精混合液轻拭。

　　Bruker白光干涉仪基本原理：

　　是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

　　Bruker白光干涉仪的特点：

　　1、非接触式测量：避免物件受损。

　　2、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。

　　3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

　　4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。

　　5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。

　　6、扫描仪：闭环控制系统。

　　7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

　　8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。