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Bruker白光干涉仪的原理和八大特点

浏览次数:308发布日期:2020-12-11
  Bruker白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
  Bruker白光干涉仪光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光Z终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
  Bruker白光干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
  Bruker白光干涉仪于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度很高的测量仪器之一。
  Bruker白光干涉仪特点:
  1、非接触式测量:避免物件受损。
  2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm---200μm。
  3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
  4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
  5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
  6、扫描仪:闭环控制系统。
  7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
  8、测量软件:基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
  以上就是Bruker白光干涉仪的原理和特点介绍,供大家参考!
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